碳化硅加工设备多少钱一台
产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽 ...
2022年12月15日 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。截至 2021年3月25日 “三代半风向”注意到，最近台湾工研院有一项新发明——“超音波电浆辅助加工技术”，它可以将4英寸碳化硅晶圆的材料移除效率提升36倍，而且加工后的表面粗 放大招！碳化硅加工成本砍50%，移除效率提升36倍 ...目前产能瓶颈体现在腔太少，只有两台设备（一台Nuflare，一台LPE）3个腔，外延片平均生产效率约1.5h/片，一天16/17片，一个月一千三四百片，去除假期、设备保养等达不到满 碳化硅衬底厂商产品质量以及外延片工艺和设备– ...
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